超低氮燃烧机通常指NOx排放量在30~80 mg的燃烧器；30 mg以下的NOx排放通常称为超低氮燃烧机；超低氮燃烧机通常基于以下技术:
1.电子比例调节和氧含量控制技术，控制氧含量；
2.全预混表面燃烧技术，降低火焰温度，实现充分燃烧；
3.FGR烟气再循环技术降低火焰温度和氧气含量。
目前市场上的超低氮燃烧机主要分为以下几种类型:
1.表面燃烧超低氮燃烧机；表面燃烧超低氮燃烧机通常可以在整个燃烧范围内将氮氧化物控制在30毫克以下，其优点是安装简单，不需要FGR烟气再循环管道；其主要缺点是需要过滤空气，增加了维护工作量；同时氧含量约为7%，降低了部分燃烧效率；
2.分级燃烧器；分级燃烧器通常可以在整个火焰范围内将NOx控制在65毫克，极限约为40毫克。进一步降低NOx排放可能导致燃烧不稳定或牺牲可调比的缺点；
3.分级超低氮燃烧机+FGR烟气循环技术；分级燃烧器+FGR烟气再循环技术结合了分级燃烧器控制NOx和降低FGR氧含量的优点，可在整个燃烧范围内将NOx控制在20 mg，同时将氧含量控制在3%以内，使燃烧效率大大提升。其主要缺点是设备成本增加。
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